合格epa控制区域包括什么?epa的主要管理要求
2023-11-10 16:56:35 文章来源 :网络 围观 : 次 评论
1、温度:防静电工作区(EPA)内应装设温度调节装置,以维持其室温在15~35°C的范围内。
2、温度:防静电工作区(EPA)内应装设湿度调节装置,保持其室内相对湿度在45%~75%RH范围内。
3、气压:防静电工作区(EPA)内的大气压力应在86~106kPa范围内。不能满足上述要求时,应采取调压措施。
4、洁净度(必要时需监控):需使用洁净环境的防静电工作区(EPA)加工场所,厂房的空气洁净级别按有关工艺设计文件规定执行。
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